薄膜电阻器是用类蒸发的方法将定电阻率材料蒸镀于缘材料表面制成，般这类电阻常用的缘材料是陶瓷基板。
电阻有三种基本类型：金属膜电阻、薄膜贴片电阻及厚膜贴片电阻，这三种电阻表面上看起来很相似，并且可能具有类似的采购规格。但实际上，这三种电阻的制造方式均不同。本身固有的设计与处理将大影响电 气性能，因此在安装后，这三种电阻的行为均不相同。当外部及内部温度改变时，这些差异会变得非常明显且至关重要。此外，长期稳定性、湿度及其它环境条件的 影响会随时间推移而产生额外影响。这点应加以考虑，当电路要求对信噪比 (snr) 及脉冲响应来说更加苛刻时更应如此。因此，些所谓的高度电阻在用于电路后结果却达不到人们可能期望的度。要生产具有高度及高稳定性的电阻，重要的 是能够控制温度及环境条件对电阻器件的影响。
薄膜电阻器是用蒸发的方法将定电阻率材料蒸镀于缘材料表面制成,具有均匀厚度薄膜电阻的量度。通常被用作评估半导体掺杂的结果。这种工艺的例子有：参杂半导体领域（比如硅或者多晶硅），以及被丝网印刷到薄膜混合微电路基底上的电阻。
薄膜电阻和厚膜电阻的区别是：
其是膜厚的区别，厚膜电路的膜厚般大于10μm，薄膜的膜厚小于10μm，大多处于小于1μm；
其二是制造工艺的区别，厚膜电路般采用丝网印刷工艺，薄膜电路采用的是空蒸发、磁控溅射等工艺方法。
薄膜电阻这概念的使用，与电阻或者电阻率相对，是它直接用四终端感应测量法（也称为四点探针测量法)来测量。薄膜电阻用欧姆/平方来计量，可被应用于将薄膜考虑为个二维实体的二维系统。它与三维系统下所用的电阻率的概念对等。当使用到薄膜电阻词的时候，电流必须沿着薄膜平面流动，而非与其垂直。
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